1、研究结果表明，合理地采用差压抽气技术就可以有效地降低离子源漏气对离子注入机真空度造成的不利影响。
2、双回路高速真空抽气系统，吸气快速平整，用于高密度网线，网点不失真。
3、独有的双回路抽气结构，自中心向四周扩散抽气，抽气速度快。
4、一根插入一个小孔的管子通过塑料连接到抽气机上，然后通过手动压缩产生负压。
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